中微公司(688012)今日宣布推出PrismoHiT3™MOCVD设备，主要用于深紫外LED量产。
据介绍，中微Prismo系列MOCVD设备目前已进入全球大多数领先的蓝绿光LED制造商，此次推出的PrismoHiT3™是中微Prismo系列MOCVD设备的最新产品。该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备，反应腔最高温度可达1400度，具有优异的工艺重复性、均匀性和低缺陷率。该设备同时也为高产量而设计，单炉可生长18片2英寸外延晶片，并可延伸到生长4英寸晶片。
据悉，中微公司PrismoHiT3™MOCVD设备早期的客户包括国内领先的深紫外LED制造商马鞍山杰生半导体有限公司，该公司的深紫外LED在家用、医疗和科研设备等领域有广泛应用。
资料显示，深紫外光几十年前就被应用于工业和民用消毒杀菌领域。它通过破坏细菌和病毒的DNA使其丧失繁殖能力来发挥作用。深紫外LED被用于不同波长的杀菌灯中，且与传统的汞灯相比对环境无污染。类似SARS、MERS和新冠病毒的出现使得深紫外LED产品的需求激增，深紫外LED产品可以消灭这些新生微生物。波长260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前该领域最先进的技术解决方案（例如杰生半导体的深紫外LED产品）。
“我们现在已经看到了深紫外LED带来的切实好处，它已成为消灭有害病原体的重要工具。”杰生半导体有限公司董事长康健表示，“中微公司设计的PrismoHiT3™MOCVD设备可以满足深紫外LED大批量、低生产成本的制造需求。中微公司凭借其世界一流的工艺专长和高性能的MOCVD设备解决方案，是值得信赖的合作伙伴。”
中微公司执行副总裁兼首席运营官杜志游介绍，中微自主研发的PrismoHiT3™MOCVD设备延续了现有Prismo平台已验证的主要创新功能，并提升了可在高温工艺环境下生长氮化铝基材料的性能，使之拓展到深紫外LED的应用。杰生半导体致力于持续发展LED技术并创造有益于人类健康的产品，很荣幸中微的设备解决方案能够助力客户研发下一代深紫外LED产品，并在技术研发和成本控制上帮助客户达成目标。
资料显示，中微公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米工艺的众多刻蚀应用；公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LEDMOCVD设备市场占据领先地位。