中证网讯（记者 杨洁）国产半导体设备龙头中微公司8月28日晚披露2020年半年报，依托公司在刻蚀设备、MOCVD设备及其他设备领域领先的技术优势以及良好的客户基础，上半年中微公司半导体设备销售及备件收入均较上年同期增加，实现营收9.78亿元，同比增长22.14%；实现净利润1.19亿元，同比增长291.98%。公司经营性现金流大幅改善，由去年同期的-3.75亿元转正为2.87亿元。
中微公司不断加大研发力度，以满足客户芯片等产品制造需求。2020年上半年，公司研究开发支出共计2.07亿元，占营收比重达21.20%。截至6月30日，公司已申请 1538项专利，其中发明专利1350项；已获授权专利1035 项，其中发明专利885项。
中微公司的研发成果也很突出。半年报显示，在逻辑集成电路制造环节，公司开发的高端刻蚀设备已运用在国际知名客户先进的生产线上并用于7纳米、5纳米器件中若干关键步骤的加工；在3D NAND芯片制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备技术可应用于64层的量产，正在开发新一代涵盖128层和更先进关键刻蚀应用的刻蚀设备和工艺；公司的MOCVD 设备Prismo D-Blue、Prismo A7能分别实现单腔14片4英寸和单腔34片4英寸外延片加工能力；Prismo A7 设备技术实力突出，已在全球氮化镓基LED MOCVD市场中占据领先地位。
当晚，中微公司同时披露，向特定对象发行A股股票预案，募集资金总额不超100亿元，用于中微产业化基地建设项目、中微临港总部和研发中心项目、科技储备资金。
中微公司表示，通过上述项目的实施，一方面有助于扩充公司产能，提高现有产品设备市场占有率，另一方面从硬件设施及资金储备层面支持现有产品技术更新和新产品市场开拓，进而支持公司保持在半导体设备领域的领先优势与公司全周期产品线的布局，提升公司科技创新水平。