中证网讯（记者 宋维东）10月21日召开的科创板上市委第35次审议会议同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司（简称“芯源微”）首发上市。
招股说明书显示，芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，产品可用于6英寸及以下单晶圆处理及8/12英寸单晶圆处理。
作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，芯源微生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代。公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术，成型产品目前正在长江存储、上海华力等前道芯片制造厂商进行工艺验证。
值得一提的是，自2008年我国启动实施“02重大专项”以来，芯源微作为项目责任单位承担并完成了两项与所处涂胶显影设备领域相关的“02重大专项”项目，分别是“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目和“300mm 晶圆匀胶显影设备研发”项目，成功突破了多项核心关键技术，开发出国产涂胶显影设备并实现量产，成功打破国外厂商垄断，大大降低了国内客户采购成本和对国外设备的依赖。
截至2019年3月31日，芯源微已获得专利授权145项，其中发明专利127项，实用新型专利6项，外观设计专利11项；拥有软件著作权37项。同时，公司也是国家集成电路产业技术创新联盟及集成电路封测产业链技术创新战略联盟理事单位，并先后主持制定了喷胶机、涂胶机两项行业标准。
在产品销售上，公司产品已实现批量销售。截至2019年3月31日，已累计销售680余台套，目前作为主流机型已成功打入包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等在内的多家国内知名一线大厂。