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专访荷兰ASML中国总裁:对向中国出口光刻机保持开放态度

11月5日,在第三届中国国际进口博览会现场,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)全球副总裁、中国区总裁沈波在接受澎湃新闻专访时表示,该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度,对全球客户均一视同仁,在法律法规框架下,都将全力支持。

澎湃新闻:公司目前在中国的发展情况如何?

澎湃新闻:光刻机包括DUV(高紫外光)光刻机和EUV(极紫外光)光刻机等多种类型,下一步,ASML有没有向中国出口EUV光刻机的打算?

沈波:EUV光刻机我们还在等荷兰政府的出口许可证。ASML必须要在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口。但我们对向中国出口光刻机是保持很开放态度的,我们对全球客户都一视同仁,只要是我们能够提供的技术和设备,我们都会全力支持。实际上,2020年第二、第三季度,公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20%。

澎湃新闻:你对近期中国集成电路行业发展怎么看?

沈波:集成电路行业历史其实也有60年了,现在整个信息化时代产生的数据和对计算能力的要求越来越高,整个集成电路产业也在社会发展和科技进步层面,变成了非常基础性的关键产业。

但是,芯片的制造有上千道工序,并不是只有光刻,从我们的角度来看,整体工艺水平到一定程度之后,对设备就有一些不同需求,但前边的技术储备时间是要非常长的,不是说今天觉得可以去做就能够做了,我觉得现在这个行业大家有点太过“积极”了,应当充分认识到行业中的风险和难度。

我们干这个行业,最大的一个体会就是,这真的是一个很难的行业,非常难,需要大家有耐心、有毅力、能坚持,真的往里持续投入,去把一个个问题解决,才能真正往前发展,要能够沉得下心来。

从芯片制造行业发展角度来讲,全球有一个不断整合的过程,中国最终也会融入到这个体系之中,所以有一些必须经历的过程可能还是要经历。

澎湃新闻:你认为集成电路技术下一步的发展方向是什么?

沈波:随着5G、人工智能、大数据、物联网的发展,催化出超乎想象的各种应用,对芯片性能提出了更高要求。现在集成电路行业谈摩尔定律谈得比较多,即大概每两年芯片技术要往前走一步,实际上就导致每两年芯片的性能更强大了,成本更低了。比如,十年前买一个512M的U盘可能要几百块钱,现在几块钱就能买到,摩尔定律实际上是让芯片变便宜了,这都是技术发展带来的。

整个行业方面,我认为大家推进集成电路行业往前走有几个大的方向:一个是从物理的角度让芯片变得小一些,这方面我们ASML扮演一个角色;同时,行业还要把芯片的集成度提高,让芯片的功能不再单一,原来存储就是存储,逻辑就是逻辑,现在可能在同一个芯片可能可以集成多种功能;另外,就是芯片本身器件和材料的进步,比如硅基芯片看看是不是要做化钴芯片。这些方向结合起来,会让芯片做的越来越强大,越来越便宜。

澎湃新闻:作为行业龙头害不害怕来自其他公司的竞争冲击你们目前的地位?

沈波:不害怕,我们一直强调,ASML是一个很开放的公司,竞争一定会推动技术的进步,所以我们是欢迎竞争的,只有竞争才能充分把大家所有聪明才智充分挖掘出来,推动行业发展。我觉得我们公司某种程度上有这个使命,帮助整个行业继续往前走,只要是有利于各行业向前发展的事我们都欢迎。

一个系统内部,大家分工协作最有效率,芯片技术越来越有竞争力,人们才能消费到价格更低、性能更好的电子产品。只有开放才能最有效地创新,关起门来效率是非常低的。

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